ST华微获得实用新型专利授权：“自动加源控制系统”

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2025年1月22日

网上信息消息，根据天眼查数据显示ST华微（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“自动加源控制系统”，专利申请号为CN202420586840.X，授权日为2025年1月21日。

专利摘要：本申请实施例提供一种自动加源控制系统，涉及半导体制造技术领域。在上述结构中，当主控单元检测到位于第二源瓶中的测量单元所测量得到的液位过低时，可以生成加源指令控制进气管道向第一源瓶输送氮气，并打开出气管道，在氮气的压力作用下将第一源瓶内的源液压入第二源瓶内，当第二源瓶内的液位到了预设阈值以后，主控单元可以根据测量结果生成停止加源指令，关闭进气管道和出气管道，至此完成加源。在上述结构中，主控单元通过测量单元的实时测量结果生成加源指令或停止加源指令，由此实现对第二源瓶的自动化加源，从而将第二源瓶中的源液控制在一定液位范围，不仅可以减少由于人工手动加源造成的误差，保证产品的反应质量，还可以减少人工。

今年以来ST华微新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6046.38万元，同比增13.15%。

数据来源：天眼查

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