*ST华微获得实用新型专利授权：“加热供源装置”

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2025年6月5日

网上信息消息，根据天眼查数据显示*ST华微（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“加热供源装置”，专利申请号为CN202421522890.8，授权日为2025年5月23日。

专利摘要：本申请提供一种加热供源装置。所述加热供源装置包括第一输入组件、第二输入组件、气化组件、测量组件、通道组件及输出组件。所述第一输入组件用于向所述气化组件输入待气化的原料，所述第二输入组件用于向已气化的气体所在的通道中输入保护气体，所述测量组件用于测量已气化的气体的流量。所述测量组件包括流量计、用于放置所述流量计的流量计容置腔及流量计加热底座，所述流量计容置腔与所述流量计加热底座连通，所述流量计加热底座用于对所述流量计加热。如此，通过上述结构，显著提升了流量计的耐用性，并且通过自动加源功能减少了对人工操作的需求，保证了四乙氧基硅烷(TEOS)在运输过程中的稳定性，提高整个生产流程的效率和可靠性。

今年以来*ST华微新获得专利授权17个，较去年同期增加了54.55%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了1.25亿元，同比增17.68%。

数据来源：天眼查

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